BS EN 62047-2-2006 半导体器件.微型机电器件.薄膜材料的拉伸试验方法
时间:2024-05-01 10:05:10 来源: 标准资料网 作者：标准资料网 阅读：9054
【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part2:Tensiletestingmethodofthinfilmmaterials
【原文标准名称】:半导体器件.微型机电器件.薄膜材料的拉伸试验方法
【标准号】:BSEN62047-2-2006
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2006-11-30
【实施或试行日期】:2006-11-30
【发布单位】:英国标准学会(BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:元部件;材料;微电子学;微系统技术;特性;试样;半导体器件;规范(验收);符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验条件;试验装置;薄膜;
【英文主题词】:
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesthemethodfortensiletestingofthinfilmmaterialswithlengthandwidthunder1mmandthicknessunder10μm,whicharemainstructuralmaterialsformicro-electromechanicalsystems(MEMS),micromachinesandsimilardevices.ThemainstructuralmaterialsforMEMS,micromachinesandsimilardeviceshavespecialfeaturessuchastypicaldimensionsintheorderofafewmicrons,amaterialfabricationbydeposition,andatestpiecefabricationbynon-mechanicalmachiningusingetchingandphotolithography.ThisInternationalStandardspecifiesthetestingmethod,whichenablesaguaranteeofaccuracycorrespondingtothespecialfeatures.
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_080_99
【页数】:16P.;A4
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:StandardTuning;Tuning-fork
【原文标准名称】:标准调谐.音叉
【标准号】:DIN1317-2-1959
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1959-08
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:音乐会的音高标准;材料;设计;音叉;作标记;特性
【英文主题词】:tuningforks;marking;properties;materials;concertpitch;design
【摘要】:Standardtuning;Tuning-forkImEinvernehmenmitdemDeutschenAmtfürMa?undGewicht(DAMG)undderPhysikalisch-TechnischenBundes-anstalt(PTB)aufgestellt.
【中国标准分类号】:A42
【国际标准分类号】:97_200_20;17_140_01
【页数】:1P;A4
【正文语种】:德语
【英文标准名称】:Waveguidetypedielectricresonators-Part1-4:Generalinformationandtestconditions-Measurementmethodofcomplexrelativepermittivityfordielectricresonatormaterialsatmillimetre-wavefrequency(IEC61338-1-4:2005);GermanversionEN61338-1-
【原文标准名称】:波导介电谐振器.第1-4部分:一般信息和试验条件.毫米波频率时介电谐振器材料的相对复介电常数测量方法
【标准号】:DINEN61338-1-4Berichtigung1-2007
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2007-02
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:同轴电缆;截止波长;介电常数;介质装置;介电性能;导电体;电气工程;频率范围;材料;数学计算;测量技术;测量方法;电容率;压电器件;特性;质量;质量评定;质量保证;谐振器;试验;波导管;波长
【英文主题词】:
【摘要】:ThiscorrigendumaddsannexZA
【中国标准分类号】:L26
【国际标准分类号】:31_140;33_120_10
【页数】:3P.;A4
【正文语种】:德语